晶瑞電材5月8日公告，9萬噸硫酸產(chǎn)能方面，一期3萬噸已經(jīng)投產(chǎn)，并向部分12英寸核心半導體廠商進行供應，二期6萬噸預計將于今年建成。
公司i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等國內(nèi)的知名大尺寸半導體廠商供貨；KrF光刻膠生產(chǎn)及測試線已經(jīng)建成，且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產(chǎn)，今年將發(fā)力拓展新客戶；公司于2020年啟動了集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，并于2020年下半年購買了ASML1900Gi型光刻機及配套設備，目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作在有序開展中。