界面新聞記者 | 馮雨晨
一則互動平臺“出口光刻機(jī)”的回復(fù)引發(fā)蘇大維格（300331.SZ）股價20CM漲停后再引來關(guān)注函。
9月14日午間休市期間，蘇大維格在互動平臺回復(fù)投資者“公司光刻機(jī)已實現(xiàn)向國內(nèi)龍頭芯片企業(yè)的銷售，并已實現(xiàn)向日本、韓國、以色列等國家的出口；同時，公司向國內(nèi)相關(guān)芯片光刻機(jī)廠商提供了定位光柵尺部件?！币约啊耙殃P(guān)注到納米壓印光刻在集成電路和芯片制造領(lǐng)域具備替代傳統(tǒng)光刻的應(yīng)用潛力，并在積極布局”。
正值光刻機(jī)概念火熱階段，當(dāng)日下午，蘇大維格開盤后迅速拉升，直至20%漲停，成交額達(dá)到15.55億元，換手率高達(dá)25.89%。
質(zhì)疑聲也紛至沓來，有報道指稱蘇大維格的“光刻機(jī)”并非真正的熱門光刻機(jī)，蘇大維格的光刻機(jī)為激光直寫光刻機(jī)，技術(shù)工藝和材料難度遠(yuǎn)低于可用于各類芯片的批量生產(chǎn)的掩模光刻。
中航證券研報表示，泛半導(dǎo)體光刻技術(shù)可分為直寫光刻和掩模光刻。其中，直寫光刻精度較低，多用于IC后道封裝、低世代線平板顯示、PCB等領(lǐng)域；掩模光刻目前主流形式為投影式，光刻精度高，可用于IC制造的前道工藝，后道先進(jìn)封裝，以及中高世代線的FPD生產(chǎn)。
9月14日晚間，蘇大維格再在互動平臺回復(fù)，明確表示公司對外銷售的光刻機(jī)主要為激光直寫光刻機(jī)。
蘇大維格解釋了兩種光刻機(jī)類型，并提到目前公司對外銷售的光刻機(jī)主要為激光直寫光刻機(jī)，在科研教育領(lǐng)域具有一定市占率，在納米壓印光刻領(lǐng)域公司設(shè)備主要為自用，對外銷售金額與直寫光刻機(jī)相比較?。淮送?，公司也開發(fā)了投影掃描的光刻設(shè)備，擬應(yīng)用于光伏電鍍銅圖形化領(lǐng)域，目前尚未實現(xiàn)銷售。
雖然蘇大維格迅速做進(jìn)一步解釋，但9月15日一早，蘇大維格就收深交所關(guān)注函。監(jiān)管要求蘇大維格結(jié)合不同類型光刻設(shè)備的技術(shù)路線的差異，補(bǔ)充披露所生產(chǎn)光刻設(shè)備的具體類型、主要客戶及下游用途等情況，并核實說明其光刻設(shè)備是否能夠直接用于芯片研發(fā)及制造、主要技術(shù)參數(shù)是否與業(yè)內(nèi)龍頭廠商存在較大差等。
此外，監(jiān)管要求蘇大維格詳細(xì)說明納米壓印技術(shù)的具體用途、研發(fā)情況，以及在集成電路領(lǐng)域的布局情況險。按照要求，蘇大維格需在2023年9月22日前回復(fù)關(guān)注函。
值得一提的是，關(guān)注函中所用概念為“光刻設(shè)備”并非“光刻機(jī)”。此前有報道注意到，蘇大維格2023年半年報中表述和9月14日互動平臺上表述相似，其中提到的也是“光刻設(shè)備”。半年報提到：公司光刻設(shè)備已向國內(nèi)某芯片龍頭企業(yè)實現(xiàn)銷售，并向國內(nèi)廠商提供應(yīng)用于IC芯片投影式光刻機(jī)的核心部件定位光柵尺產(chǎn)品。
因此，業(yè)內(nèi)人士指出將“光刻設(shè)備”直寫“光刻機(jī)”是不專業(yè)行為，不排除是有意為之。
9月15日，蘇大維格證券部對界面新聞記者表示，“光刻機(jī)”表述此前在半年報、年報中均有所采用，今年半年報中，公司也明確提到“公司是國內(nèi)領(lǐng)先的微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造和技術(shù)服務(wù)商，通過自主研發(fā)微納光學(xué)關(guān)鍵制造設(shè)備——光刻機(jī)”等，公司在年報、半年報、互動易平臺對所涉光刻機(jī)、芯片光刻機(jī)等表述都是有明確定義的。
該人士進(jìn)一步表示，目前也收到了交易所關(guān)注函，公司也將盡快盡快核對和積極回復(fù)。
二級市場方面，關(guān)注函難抵漲勢，截至9月15日午盤，蘇大維格繼續(xù)大漲13.13%，報收37.47元/股，市值較9月13日猛漲25.66億元，股價走出今年新高。